广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵 Alcatel分子泵控制器维修
两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙型空间分隔成A、B、C三个部分,当转子按图示方向旋转时,与吸气口相通的空间A的容积不断地增大,A空间的压强不断的降低,当A空间内的压强低于被抽容器内的压强,根据气体压强平衡的原理,被抽的气体不断地被抽进吸气腔A,此时正处于吸气过程。Alcatel分子泵控制器维修
1. 泵油量不足或油温过高
泵油量不足会导致泵内缺少润滑,从而使得机械泵轴承过热,出现异常声音。此时需要检查油箱内油的余量,若不足需及时添加。
油温过高则说明泵内散热不良,需及时清洗冷却器并检查散热风扇是否正常工作。Alcatel分子泵控制器维修
在抽除有毒、腐蚀性等对人体有害的气体时,拆卸前,请先使用N2对真空泵进行清扫,务必使残留气体尽数排出。请注意,运行时真空泵零部件温度很高,请在泵完全冷却后再行拆装,以免伤到自己。Alcatel分子泵控制器维修
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间隙一般为0.1~0.8毫米;不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高,加工精度易于保证,故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450~4100转/分;抽气速率为30~10000升/秒(1升=10-3米3);极限真空:单级为6.5×10^2帕,双级为1×10^3帕。阿尔卡特进口泵维修
利用机械方法获得真空的设备称为机械真空泵或机械泵,其中主要的是转动泵、分子泵和罗茨泵三种。阿尔卡特进口泵维修
转动泵可分为多叶片、活塞式、油封式等儿个大类,其中以油封式*为常用。油封式转动泵又可分为旋片式定片式滑阀式等三种,它们的工作原理基本相同。
叶轮旋涡的速度和形状是由旋涡的运动来决定的,而叶轮旋转速度和形状又是由流道的形状来决定。如果叶轮在转动时,其中一种旋涡占优取决于叶轮轴承,另一种则占优取决于其他两种旋涡
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高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。泵都有起始工作压强,传统的高真空泵都在几Pa的范围。adixen ATH400M分子泵维修,因此前级泵必须预抽到这一压力主泵才能开始工作。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需要较长的时间,因为随着压力降低泵的抽速在减小,特别是对于周期性抽气的真空机组,对达到工作真空度的时间是有要求的,预抽时间越长,进入工作真空度的时间也越长,故增加一台中真空泵与前级低真空泵配合,可在较短的时间达到主泵可以工作的压力,这样可以使系统尽快地进入工作压力,保证了设备的使用效率。adixen ATH400M分子泵维修
由于负荷大,转子和壳体温差不断zeng高,使间隙不断增大,这会使首逆流增大,引起罗茨真空泵抽速下降。为了克服这个缺点,罗茨泵在高负荷下工作时,需要采用有效措施,一般是将罗茨真空泵的外壳和转子同时采用油循环系统进行冷却。adixen ATH400M分子泵维修
随着螺旋升角和牵引槽深度增大,氦质谱检漏仪的灵敏度均先提高后下降;增大转子与定子间隙,不利于氦质谱检漏仪灵敏度的提高;选取螺旋升角为22°、牵引槽深为 2.5 mm、转子与定子间隙为 0.3 mm时,氦质谱检漏仪具有较高的灵敏度,同时复合分子泵牵引级性neng可靠且结构安全。adixen ATH400M分子泵维修
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